[12p-A205-1~15] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[12p-A205-5] プラズマ表面処理が自己集積化膜の分子配向に及ぼす影響

〇織田 祥成¹、堤 隆嘉¹、石川 健治¹、堀 勝¹ (1.名大)

キーワード：プラズマ表面処理、自己集積化膜

X線光電子分光法（XPS）ならびにフーリエ変換赤外分光法（FT-IR）を用いて、酸素プラズマによる基板前処理が自己集積化膜の分子配向に及ぼす影響について述べる。さらに、より高い分子集積密度の分子膜形成において適切な基板の表面状態について議論する。