[12p-A302-1~18] 8.1 Plasma production and diagnostics

[12p-A302-10] Large Area Annealing by Magnetic Field Scanning of Atmospheric Pressure Thermal Plasma Beam

〇Kazuki Segawa¹, Hiroaki Hanafusa¹, Yuri Mizukawa¹, Seiichiro Higashi¹ (1.Hiroshima Univ.)

Keywords:Thermal plasma, Rapid thermal annealing, Thin film transistor

低コストな半導体薄膜の急速熱処理技術として大気圧熱プラズマジェット(TPJ)の応用が期待されている。本研究では、プラズマ長が約250 mmの大気圧熱プラズマビーム(AP-TPB)を生成し、その噴出方向を外部磁場によってスキャンする大面積熱処理技術を開発した。