[12p-A302-1~18] 8.1 プラズマ生成・診断

[12p-A302-10] 大気圧熱プラズマビームの磁場スキャンによる大面積熱処理技術の研究

〇瀬川 和輝¹、花房 宏明¹、水川 友里¹、東 清一郎¹ (1.広大院先端研)

キーワード：熱プラズマ、急速熱処理、薄膜トランジスタ

低コストな半導体薄膜の急速熱処理技術として大気圧熱プラズマジェット(TPJ)の応用が期待されている。本研究では、プラズマ長が約250 mmの大気圧熱プラズマビーム(AP-TPB)を生成し、その噴出方向を外部磁場によってスキャンする大面積熱処理技術を開発した。