[12p-A302-1~18] 8.1 Plasma production and diagnostics

[12p-A302-9] Modeling of AC He-APPJ irradiating a dielectric target

〇Tsukasa Kobayashi¹, Kei Ikeda¹ (1.ATHENASYS)

Keywords:Atmospheric pressure plasma jet, modeling

誘電体を照射する1MHz～50 kHzのHe-APPJのモデリングを試みた。RFプラズマに似た連続的な放電から、ストリーマが支配的な離散的放電に遷移する様子をモデル化できた。また、ターゲットの誘電率が大きいと、ストリーマ的(離散的)な特徴が弱まる傾向があることが明らかとなった。プラズマ、ラジカルなどの生成効率の観点に限れば、周波数は高い方が、また誘電率が大きい方が有利である。