[12p-A302-1~18] 8.1 プラズマ生成・診断

[12p-A302-11] 容量結合プラズマのTorrオーダー圧力におけるプラズマ密度の印加周波数依存性

〇伝宝 一樹¹、森田 靖¹、松土 龍夫¹ (1.東京エレクトロン)

キーワード：容量結合プラズマ、電子密度、Torrオーダー圧力

PECVDで多用されるTorrオーダー圧力において，容量結合プラズマ中の電子密度に及ぼす印加周波数の影響を調べた．高周波数ほど高電子密度になると信じられているが，Torrオーダーでは，450kHzから2MHzの方が13.56MHzよりも高電子密度となることが，シミュレーションと実験によって確認された．低周波ではγモードに加え，イオン密度の振動とそれに伴うプラズマバルクの崩壊，再形成が重要となる．