[12p-A302-1~18] 8.1 プラズマ生成・診断

[12p-A302-6] 減圧CO₂プラズマ中のCO分子の電子励起状態の非平衡な回転エネルギー分布

山田 祥太¹、森田 雄貴¹、根津 篤²、〇赤塚 洋^3,1 (1.東工大工、2.東工大技、3.東工大研)

キーワード：CO2プラズマ、CO分子、回転温度

減圧マイクロ波放電CO₂プラズマのCOオングストロームバンドおよび第3正帯(3PS)の振動・回転温度T_v, T_rを求め比較検討する。3PSの回転温度は0.15 eV程度であった。一方、オングストロームバンドについては、回転温度を1つとすると適切なフィッテイングが困難で、3/4をバルク成分0.04 eV,残り1/4を高エネルギーテール成分0.17 eVとすることによりフィッテイングが最適になされた。