[12p-A302-1~18] 8.1 プラズマ生成・診断

[12p-A302-9] 誘電体を照射するAC大気圧Heプラズマジェットのモデリング

〇小林 司¹、池田 圭¹ (1.アテナシス)

キーワード：大気圧プラズマジェット、モデリング

誘電体を照射する1MHz～50 kHzのHe-APPJのモデリングを試みた。RFプラズマに似た連続的な放電から、ストリーマが支配的な離散的放電に遷移する様子をモデル化できた。また、ターゲットの誘電率が大きいと、ストリーマ的(離散的)な特徴が弱まる傾向があることが明らかとなった。プラズマ、ラジカルなどの生成効率の観点に限れば、周波数は高い方が、また誘電率が大きい方が有利である。