[12p-A307-1~8] 窒化物半導体特異構造の科学　～実験と理論の接点を探る：物性解明と制御～

[12p-A307-3] 微分位相コントラストSTEMによる材料界面電磁場解析

〇柴田 直哉^1,2 (1.東大総研、2.JFCCナノ構造研)

キーワード：電子顕微鏡、電磁場、界面

本講演では、微分位相コントラストSTEM法による材料・デバイスの電磁場分布解析について、現状と展望を議論する。