[12p-B401-1~16] 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

△ [12p-B401-3] NH₃/H₂雰囲気下で選択エッチングしたN極性AlGaN/GaNヘテロ構造の評価

〇吉屋 佑樹¹、星 拓也¹、杉山 弘樹¹、松崎 秀昭¹ (1.NTT先端集積デバイス研)

キーワード：窒化ガリウム、N極性、選択熱分解エッチング