[12p-B401-1~16] 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[12p-B401-6] GaN の光電気化学(PEC)エッチングが有する可能性
③加熱によるエッチング速度の向上

〇堀切 文正¹、福原 昇¹、太田 博²、浅井 直美²、成田 好伸¹、吉田 丈洋¹、三島 友義²、渡久地 政周³、三輪 和希³、大神 洸貴³、佐藤 威友³ (1.サイオクス、2.法政大、3.北大)

キーワード：窒化ガリウム、光電気化学、エッチング

GaN は光電気化学(PEC)エッチングにより、低損傷なエッチングができる。また、電解液に酸化剤を混ぜる事で、シンプルなコンタクトレスPEC エッチングが可能である。本報告では、酸化剤であるペルオキソ二硫酸カリウム(K₂S₂O₈)から、熱により硫酸イオンラジカルを生成する事で、酸化剤濃度を増加させてエッチング速度の大幅な向上させる事に成功したので、その結果について報告する。