[12p-D209-1~17] 2.2 Detection systems

[12p-D209-2] Development of TES X-ray microcalorimeter towards the observation from 50 eV to 15 keV for STEM-EDS

〇(P)Tasuku HAYASHI¹, Ryohei KONNO¹, Yuta YAGI¹, Noriko Yamasaki¹, Kazuhisa Mitsuda¹, Keisuke Maehata², Toru HARA³ (1.ISAS/JAXA, 2.Kyushu Univ., 3.NIMS)

Keywords:Transition Edge Sensor (TES), Scanning Transmission Electron Microscope (STEM), Energy Dispersive X-ray Spectroscope (EDS)

走査透過型電子顕微鏡と分散型X線分光分析(EDS)を組み合わせることで、材料工学やバイオテクノロジー、地球外物質分析といった幅広い研究分野で、ナノスケール領域での元素分析を可能とする。我々は、従来EDSで使用される半導体検出器に対し、分光性能を50倍向上可能な超伝導遷移端型X線マイクロカロリメータ(TESカロリメータ)の開発を行ってきた。本公演では、50 eVから15 keVまでをカバーする新しいTESカロリメータの概念設計について報告する。