[12p-D209-1~17] 2.2 検出器開発

[12p-D209-2] 50 eVから15 keVの特性X線を用いたナノスケール構造中の精密定量分析を目指したTES型X線マイクロカロリメータの開発

〇(P)林 佑¹、紺野 良平¹、八木 雄大¹、山崎 典子¹、満田 和久¹、前畑 京介²、原 徹³ (1.ISAS/JAXA、2.九大工、3.物質・材料研究機構)

キーワード：超伝導遷移端型X線マイクロカロリメータ、走査透過型電子顕微鏡、分散型X線分光分析

走査透過型電子顕微鏡と分散型X線分光分析(EDS)を組み合わせることで、材料工学やバイオテクノロジー、地球外物質分析といった幅広い研究分野で、ナノスケール領域での元素分析を可能とする。我々は、従来EDSで使用される半導体検出器に対し、分光性能を50倍向上可能な超伝導遷移端型X線マイクロカロリメータ(TESカロリメータ)の開発を行ってきた。本公演では、50 eVから15 keVまでをカバーする新しいTESカロリメータの概念設計について報告する。