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△ [12p-D519-1] 逆格子空間マッピングを用いたGe1-xSnxメサ構造における熱膨張係数評価
キーワード:歪、逆格子空間マッピング、熱膨張係数
Ge1-xSnxはGeに比べて高移動度と低熱伝導率を持ち、次世代の電子及び熱電デバイス材料として期待されている。これまでに我々は微細加工したGe1-xSnxメサ構造における格子定数の異方性を報告した。異方的な歪を有する微細構造においては、熱膨張による影響も異方性を示すと考えられるため、本報告では室温から300℃の温度範囲で逆格子空間マッピング測定を行いGe1-xSnxメサ構造の温度による格子定数変化と熱膨張係数の導出を試みた。