2020年第67回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[12p-D519-1~10] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2020年3月12日(木) 13:45 〜 16:15 D519 (11-519)

佐道 泰造(九大)

13:45 〜 14:00

[12p-D519-1] 逆格子空間マッピングを用いたGe1-xSnxメサ構造における熱膨張係数評価

〇(M2)高橋 祐樹1、横川 凌1,2、吉岡 和俊1、小笠原 凱1、廣沢 一郎3、須田 耕平1、小椋 厚志1,4 (1.明治大理工、2.学振特別研究員 DC、3.高輝度光科学研究センター、4.再生可能エネルギー研究インスティテュート)

キーワード:歪、逆格子空間マッピング、熱膨張係数

Ge1-xSnxはGeに比べて高移動度と低熱伝導率を持ち、次世代の電子及び熱電デバイス材料として期待されている。これまでに我々は微細加工したGe1-xSnxメサ構造における格子定数の異方性を報告した。異方的な歪を有する微細構造においては、熱膨張による影響も異方性を示すと考えられるため、本報告では室温から300℃の温度範囲で逆格子空間マッピング測定を行いGe1-xSnxメサ構造の温度による格子定数変化と熱膨張係数の導出を試みた。