[12p-D519-1~10] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

△ [12p-D519-3] ナノビームX線回折法による高Ge組成SiGe／組成傾斜SiGe／Si積層構造の深さ分解結晶性トモグラフィック評価

〇志田 和己¹、藤平 哲也¹、林 侑介¹、隅谷 和嗣²、今井 康彦²、木村 滋²、酒井 朗¹ (1.阪大院基礎工、2.JASRI)

キーワード：SiGe、組成傾斜層、ナノビームX線回折法