[12p-D519-1~10] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

△ [12p-D519-6] Ge-on-Si基板のパターニングによる歪みSiGe層中クラック発生の抑制

〇我妻 勇哉¹、Md. Mahfuz Alam^1,2、岡田 和也¹、星 裕介¹、山田 道洋³、浜屋 宏平³、澤野 憲太郎¹ (1.東京都市大学、2.Univ. of Barishal、3.阪大基礎工 CSRN)

キーワード：ゲルマニウム、シリコンゲルマニウム