[12p-D519-1~10] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[12p-D519-8] GOI基板作製における貼り合わせ後熱処理の影響

〇柴田 翔吾¹、石川 亮佑¹、星 裕介¹、澤野 憲太郎¹ (1.東京都市大　総研)

キーワード：Germanium On Insulator、貼り合わせ