[12p-PA2-1~4] 7 ビーム応用

△ [12p-PA2-3] Arイオンビーム照射による銀および金ナノ粒子のスパッタリング

〇水谷 仁美¹、尾﨑 孝一¹、髙廣 克己¹、西山 文隆² (1.京工繊大、2.広島大)

キーワード：イオンビーム、ナノ粒子、スパッタリング

本研究では，基板上のAgおよびAuナノ粒子（NPs）に対して，5–100 keVのAr⁺照射を行い，そのスパッタリング収率を求めた．AgおよびAu NPsに対して5–30 keV Ar⁺照射を行った結果，スパッタリング収率の粒径依存性は，いずれの照射エネルギーについてもイオン飛程の1.5倍程度の粒径で極大となった．この極大値は、バルクにはない、ナノ粒子に特異的な傾向である。講演では，AgおよびAu NPsのスパッタリング収率のエネルギー依存性についても議論する．