[13a-A205-1~6] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[13a-A205-1] 大気圧におけるDLC薄膜のプラズマ化学気相成長の研究

〇西村 涼汰¹、吉木 宏之¹ (1.鶴岡高専)

キーワード：大気圧マイクロプラズマ、ダイヤモンド状炭素膜、プラズマCVD

本研究課題では、高硬度、高耐摩耗性、潤滑性を有するダイヤモンド状炭素 (DLC) 薄膜の大気圧プラズマ合成を行う。特に、MEMSの摺動部への局所コーティングに目標を定めて、He/CH₄/H₂ガス組成、プラズマ投入電力、成膜温度をパラメータとして作製したところ、FT-IR、XPS、ラマン分光分析の結果から、1.2 以上のsp³/sp²比率と20 GPa以上の膜硬度を有するDLC膜が得られた。