[13a-A205-1~6] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[13a-A205-6] 低ガス圧力環境下で非加熱スパッタ成膜した窒化アルミニウム薄膜の化学結合状態評価

〇川戸 勇人¹、吉塚 みずほ¹、本村 大成²、田原 竜夫²、上原 雅人²、奥山 哲也¹ (1.久留米高専、2.産総研)

キーワード：スパッタリング、低ガス圧