[13a-A302-1~11] 15.4 III-V-group nitride crystals

[13a-A302-7] Directional Control of MicroLED using integrated micorlens

〇(M1)Kosuke Iwanaga¹, Fujiwara Shinjiro¹, Shirai Masanori², Takasawa Satoru², Sekiguchi Hiroto^1,3 (1.Toyohashi Tech., 2.ULVAC, 3.JST PRESTO)

Keywords:microlens, current constricted LED, GaN:Ge Sputtered film

指向性が制御されたマイクロLEDは光遺伝学分野で活用できる可能性がある。本研究では，高い指向性を得るためにレンズ集積されたマイクロLEDの集積を試みた。
直径6.4μm，高さ1.4μmのレンズ形状を作製した。その形状をもとにFDTD法による電磁界解析シミュレーションを行い、デバイス構造を検討した。電流狭窄構造を得るためにBイオンによる絶縁化技術を用いてLEDを作製した。レンズと電流狭窄LEDを組み合わせることで指向性の改善が期待できる。