[13a-A302-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

[13a-A302-7] マイクロレンズ集積によるマイクロLEDの指向性制御の検討

〇(M1)岩永 功佑¹、藤原 慎二郎¹、白井 雅紀²、高澤 悟²、関口 寛人^1,3 (1.豊橋技科大、2.アルバック、3.JST さきがけ)

キーワード：マイクロレンズ、電流狭窄LED、GaN:Geスパッタ膜

指向性が制御されたマイクロLEDは光遺伝学分野で活用できる可能性がある。本研究では，高い指向性を得るためにレンズ集積されたマイクロLEDの集積を試みた。
直径6.4μm，高さ1.4μmのレンズ形状を作製した。その形状をもとにFDTD法による電磁界解析シミュレーションを行い、デバイス構造を検討した。電流狭窄構造を得るためにBイオンによる絶縁化技術を用いてLEDを作製した。レンズと電流狭窄LEDを組み合わせることで指向性の改善が期待できる。