[13a-A302-1~11] 15.4 III-V-group nitride crystals

[13a-A302-8] Transfer technology of MicroLED on PDMS sheet for flexible electronics application

〇(M1)Riki Maeda¹, Kaito Masuda¹, Atsushi Nishikawa², Alexander Loesing², Izumi Hukunaga³, Hiroto Sekiguchi^1,4 (1.Toyohashi Tech, 2.ALLOS, 3.OIST, 4.JST PRESTO)

Keywords:LED, transfer technology, flexible

本研究では，フレキシブルシート上へのマイクロLEDアレイの配置に向けて，PDMSスタンプを用いた転写技術の検討をした。マイクロLED転写法を以下に示す。Siウェハ上GaN-LED基板を用意し，一般的なLED構造を形成後，LEDをピックアップするためにLEDの下部のSi基板を除去した中空構造を形成した。その後，PDMSスタンプによりLEDをピックアップし，PDMSシートにPDMSスタンプを押し付けて転写を完了した。転写後においてもLEDから明るい青色発光を得られた。