[13a-A302-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

[13a-A302-8] フレキシブルエレクトロニクス応用に向けた
マイクロLEDのPDMSシートへの転写技術の検討

〇(M1)前田 吏輝¹、増田 海斗¹、西川 敦²、Loesing Alexander²、福永 泉美³、関口 寛人^1,4 (1.豊技大、2.ALLOS、3.沖縄科技大、4.JSTさきがけ)

キーワード：LED、転写技術、フレキシブル

本研究では，フレキシブルシート上へのマイクロLEDアレイの配置に向けて，PDMSスタンプを用いた転写技術の検討をした。マイクロLED転写法を以下に示す。Siウェハ上GaN-LED基板を用意し，一般的なLED構造を形成後，LEDをピックアップするためにLEDの下部のSi基板を除去した中空構造を形成した。その後，PDMSスタンプによりLEDをピックアップし，PDMSシートにPDMSスタンプを押し付けて転写を完了した。転写後においてもLEDから明るい青色発光を得られた。