[13a-B410-1~9] 3.7 Laser processing

[13a-B410-2] Investigation of mechanisms of damage generation during femtosecond laser drilling of glass

〇Yusuke Ito¹, Keisuke Nagato¹, Naohiko Sugita¹ (1.Univ. Tokyo)

Keywords:femtosecond laser, glass, imaging

ガラスのフェムト秒レーザ加工時に生じるダメージの形成要因として，衝撃波の影響や励起電子の影響が広範に議論されているものの，形成メカニズムは未だ詳細には示されていない．本研究では，レーザ光照射直後の励起電子の挙動と衝撃波の挙動がレーザパルス照射毎に変化していく様子を，ポンプ・プローブ法と高速度カメラを組み合わせることにより観察した．観察された高速現象をシミュレーションで再現することにより，ダメージ形成メカニズムを調査した．