The 67th JSAP Spring Meeting 2020

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Oral presentation

3 Optics and Photonics » 3.7 Laser processing

[13a-B410-1~9] 3.7 Laser processing

Fri. Mar 13, 2020 9:00 AM - 11:30 AM B410 (2-410)

Aiko Narazaki(AIST), Yusuke Ito(Univ. Tokyo)

9:30 AM - 9:45 AM

[13a-B410-3] Observation of surface morphology processed by GHz burst mode femtosecond laser ablation

Kotaro Obata1, Francesc Caballero-Lucas1, Koji Sugioka1 (1.RIKEN RAP)

Keywords:Femtosecond laser, GHz burst mode, Ablation

近年、より高品質、効率的な除去加工を目的として、1パルスのレーザー光を数百 psの極短い間隔で、ひと続きの連続したパルス列を構成するGHzバーストモードが注目されている。GHzバーストモードでは、同じ平均出力、繰り返し周波数を持つ通常モードのレーザー加工とは異なる除去効率(単位時間あたりの材料加工除去量)、アブレーション閾値を示すことが示された。本研究では、このGHzバーストモードにおいて、シングルショットでアブレーション加工した形状をレーザー走査顕微鏡により3次元的に評価し、除去効率などの詳細な加工特性を検討した。