The 67th JSAP Spring Meeting 2020

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Oral presentation

Joint Session K "Wide bandgap oxide semiconductor materials and devices" » 21.1 Joint Session K "Wide bandgap oxide semiconductor materials and devices"

[13a-D419-1~12] 21.1 Joint Session K "Wide bandgap oxide semiconductor materials and devices"

Fri. Mar 13, 2020 9:00 AM - 12:15 PM D419 (11-419)

Kentaro Kaneko(Kyoto Univ.)

9:30 AM - 9:45 AM

[13a-D419-3] Correspondence between PL spectra and conductive properties of ZnO films - IV

Housei Akazawa1 (1.NTT Device Innovation Center)

Keywords:GZO, PL, transparent conductive film

ZnO透明導電膜中の欠陥とドナーがどのような関係にあるかは、長年の課題として研究されている。我々はこれまで電気特性とPLとの関係を詳細に調べることにより、アンドープZnO膜中のドナーが何であるかを明らかにし、その結果を3回にわたり、応用物理学会で発表してきた。今回外因性ドナーであるGaをドープしたZnO膜について、アンドープZnOとの違いについて報告する。