[13a-D419-1~12] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[13a-D419-3] ZnO系透明導電膜の特性とPLスペクトルの対応 IV

〇赤沢 方省¹ (1.NTTデバイスイノベーションセンタ)

キーワード：GZO、PL、透明導電膜

ZnO透明導電膜中の欠陥とドナーがどのような関係にあるかは、長年の課題として研究されている。我々はこれまで電気特性とPLとの関係を詳細に調べることにより、アンドープZnO膜中のドナーが何であるかを明らかにし、その結果を3回にわたり、応用物理学会で発表してきた。今回外因性ドナーであるGaをドープしたZnO膜について、アンドープZnOとの違いについて報告する。