[13a-D519-1~10] 9.1 誘電材料・誘電体

[13a-D519-7] PZT系エピタキシャル薄膜共振子の600 ºC以上の高温域における圧電特性

〇松田 友佳^1,3、柳谷 隆彦^1,2,3 (1.早大、2.JST　さきがけ、3.材研)

キーワード：PTO、圧電体、エピタキシャル成長