[13a-PA1-1~17] 1.3 Novel technologies and interdisciplinary engineering

[13a-PA1-13] Study on separation and concentration techniques for C₂F₄ gas synthesized by pure CF₄ plasma

〇Hiromasa Ohmi¹, Rei Tanaka¹, Hiromichi Nakatsuka¹, Daiki Iino², Kazuaki Kurihara², Hiroyuki Fukumizu², Jouta Fukuhara², Hisataka Hayashi², Hiroaki Kakiuchi¹, Kiyoshi Yasutake¹ (1.Osaka Univ., 2.Kioxia Corp.)

Keywords:fluorocarbon gas, gas production, purification process

テトラフルオロエチレン（C₂F₄)は、フルオロカーボン系撥水膜などの成膜原料ガスとして優れた性質を持つ反面、その反応性が極めて高いことから、高圧充填による輸送・保管が難しいガスである。そこで、我々は、この反応性の高いC₂F₄ガスをCF₄原料ガスからオンサイトで生成・供給する装置の開発を行っている。本講演では、プラズマ処理により生成される反応生成物から、C₂F₄ガスを分離し、高濃度化する手法について検討した結果を述べる。