[13a-PA1-1~17] 1.3 新技術・複合新領域

[13a-PA1-13] CF₄ガスからプラズマ合成されたC₂F₄ガスの分離濃縮技術の検討

〇大参 宏昌¹、田中 領¹、中塚 宏学¹、飯野 大輝²、栗原 一彰²、福水 裕之²、福原 成太²、林 久貴²、垣内 弘章¹、安武 潔¹ (1.阪大院工、2.キオクシア(株))

キーワード：フルオロカーボンガス、ガス製造、精製プロセス

テトラフルオロエチレン（C₂F₄)は、フルオロカーボン系撥水膜などの成膜原料ガスとして優れた性質を持つ反面、その反応性が極めて高いことから、高圧充填による輸送・保管が難しいガスである。そこで、我々は、この反応性の高いC₂F₄ガスをCF₄原料ガスからオンサイトで生成・供給する装置の開発を行っている。本講演では、プラズマ処理により生成される反応生成物から、C₂F₄ガスを分離し、高濃度化する手法について検討した結果を述べる。