[13a-PA2-1~10] 6.1 Ferroelectric thin films

[13a-PA2-3] Low temperature crystallization of proton conducting SrZr_0.8Y_0.2O_3-δthin films

〇Kakeru Mizuguchi¹, Takashi Sato¹, Kiyoshi Uchiyama¹ (1.National Institute of Technology, Tsuruoka College)

Keywords:ferroelectric, dielectric thin films, thin films

本研究ではSZYOを室温でアモルファス成膜し, その後アニール処理で結晶化させることで柱状成膜を抑制し薄膜の導通を防ぐことを目的とした. SZYOを成膜しアニールした際の温度比較, また大気アニール, 真空アニールでのX線回折強度比較について報告する.