[13a-PA2-1~10] 6.1 強誘電体薄膜

[13a-PA2-7] スパッタ法によるSi基板上へのBiFeO₃薄膜のエピタキシャル成長Ⅲ

〇菊地 理沙¹、岡本 直樹¹、吉村 武¹、藤村 紀文¹ (1.阪府大工)

キーワード：強誘電体、BiFeO3、圧電体