[13a-PA3-1~35] 6.3 Oxide electronics

[13a-PA3-34] Effect of TiO₂ deposition temperature on the optical properties of TiO₂/VO₂/ZnO-nanorods/glass layered structures

〇Fei Chen¹, Tatsuro Fukuzumi¹, Kunio Okimura², Iwao Yamaguchi³, Tetsuo Tsuchiya³ (1.Grad. Sch. Eng., Tokai Univ., 2.Sch. Eng., Tokai Univ., 3.AIST)

Keywords:VO2, optical properties, smart window

温度変化による半導体―金属相転移現象を生じる二酸化バナジウム(VO₂)を利用したスマートウィンドウは，周囲の温度により自動スイッチングができるため，省エネルギー対策法として注目されている．本研究ではVO₂を用いたスマートウィンドウの可視光透過率を向上させるために二酸化チタン(TiO₂)反射防止膜を導入した．スパッタリング法を用いてVO₂/ZnOナノロッド/glass積層構造サンプル上に異なる基板温度条件下でTiO₂を堆積し，サンプルの光学特性への影響を検討した．