[13a-PA3-1~35] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[13a-PA3-5] 酸化チタンナノチューブ薄膜型ガスセンサの高感度水素検知

木村 康男¹、阿部 宏之²、馬 騰³、但木 大介⁴、平野 愛弓^3,4、〇庭野 道夫⁵ (1.東京工科大学、2.宮城県産技セ、3.東北大材料科学高等研、4.東北大通研、5.東北福祉大)

キーワード：酸化チタン、水素ガスセンサ、白金担持

我々は以前に，チタン金属薄膜を局所的に陽極酸化することにより形成した酸化チタン・ナノチューブ（TiO2 NT）薄膜を用いた微小ガスセンサを提案した。本研究では，このガスセンサの性能向上のため，原子層堆積（Atomic Layer Deposition：ALD）法を用いて白金微粒子をTiO2 NT薄膜に坦持したガスセンサを作製し，ガス検知特性を詳細に調べた。水素ガスに対して，1 ppm以下の濃度まで検知できることを確認した。