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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.5 デバイス／配線／集積化技術

[13p-A305-1~13] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

2020年3月13日(金) 13:45 〜 17:45 A305 (6-305)

中塚理(名大)、遠藤和彦(産総研)

15:00 〜 15:15

[13p-A305-4] [第11回シリコンテクノロジー分科会研究奨励賞受賞記念講演] シリコンMOSトランジスタにおける電子スピン共鳴下のチャージポンピング

〇堀匡寛¹、小野行徳¹ (1.静大電研)

キーワード：界面欠陥、チャージポンピング、EDMR