The 67th JSAP Spring Meeting 2020

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Symposium (Oral)

Symposium » Research progress on laser-induced periodic surface structure ~What has been revealed? How about the technology outlook?~

[13p-B410-1~10] Research progress on laser-induced periodic surface structure ~What has been revealed? How about the technology outlook?~

Fri. Mar 13, 2020 1:30 PM - 6:00 PM B410 (2-410)

Yasuhiko Shimotsuma(Kyoto Univ.), Masaaki Sakakura(Univ. of Southampton)

2:30 PM - 2:45 PM

[13p-B410-3] Effect of pulse interval and pulse number on LIPSS formation

〇(B)TETSUYUKI OHGAI1, REINA MIYAGAWA1, OSAMU ERYU1 (1.Nagoya Inst. Tech)

Keywords:LIPSS

LIPSS形成において積重するレーザーパルス同士の相互作用を調べるため、基板の同一箇所に照射するレーザーのパルス間隔tとパルス積重数Nを変化させその影響を調べた。レーザーフルエンス 1.13J/cm2でGaAs基板に照射したところ、パルス間隔の大きなt = 0.42sでは、N=4以上で周期約900nmのLSFLが形成され始めたのに対し、パルス間隔の小さなt = 10µsではN=2以上で形成された。