[13p-B410-1~10] レーザー誘起ナノ周期構造の研究の現状～どこまで分かっているのか？技術の展望はあるのか？

△ [13p-B410-6] 純チタン板表面へのフェムト秒レーザー誘起ナノ周期構造形成における周期制御

〇篠原 直希¹、佐藤 雄二²、塚本 雅裕² (1.阪大院工、2.阪大接合研)

キーワード：フェムト秒レーザー、ナノ周期構造、純チタン

チタン板表面にポリマーを密着させてフェムト秒レーザーを照射しナノ周期構造形成を試みた.この時,誘電率の異なるポリマーとして,FEP,PLA,PS,PMMAを用いた.その結果,大気下では630 nmのナノ周期構造を形成されたことに対し, FEP,PLA,PS,PMMAを密着させた場合は周期が506, 437, 432, 410 nm であるナノ周期構造がチタン板表面に形成された.結論として、周期は表面の誘電率に依存していることがわかった.