[13p-B410-1~10] Research progress on laser-induced periodic surface structure ~What has been revealed? How about the technology outlook?~

△ [13p-B410-7] Ultrafast Dynamics of LIPSS Formation in Ge₂Sb₂Te₅ Thin Films Using High Repetition Rate Single Shot Spectroscopy

〇(DC)Masataka Kobayashi¹, Kanta Asakawa^1,2, Yusuke Arashida^1,3, Kuniaki Konishi⁴, Junji Yumoto⁴, Makoto Kuwata-Gonokami⁴, Jun Takeda¹, Ikufumi Katayama¹ (1.Yokohama National Univ., 2.Tokyo Univ. of Agr. & Tech., 3.Univ. of Tsukuba, 4.The Univ. of Tokyo)

Keywords:singleshot, LIPSS, ablation

我々はカルコゲナイド合金Ge₂Sb₂Te₅（GST）薄膜を用い、高繰り返しシングルショット分光法を駆使してマルチパルス照射に伴うLIPSS形成やアブレーション過程の超高速ダイナミクスの観測を行っている。ポンプ光の励起密度は、照射後のモルフォロジー変化に応じて（I）相変化閾値以下、（II）相変化閾値以上LIPSS形成閾値以下および（III）LIPSS形成閾値以上アブレーション閾値以下の3つの領域に分類できるが、本研究では、各領域の励起密度におけるショット毎の過渡透過率変化の緩和時間を評価した。