[13p-D215-1~6] 量子ビームによる表面物性・構造解析の新展開

[13p-D215-2] イオンビームによる薄膜・表面の構造組成分析

〇星野 靖¹ (1.神奈川大理)

キーワード：イオンビーム分析、薄膜・表面

イオンビームを用いた薄膜・表面構造分析の歴史は比較的長く、ほぼ非破壊で薄膜・表面の深さ組成分析や構造分析が原子層レベルで可能な最も定量性の高いツールの一つとなっている。本講演では、ラサフォード後方散乱法(RBS), 中エネルギーイオン散乱法(MEIS)を中心に核反応分析法(NRA)や弾性反跳分析法(ERDA)等を用いた薄膜表面分析への応用例を紹介する。また、イオン散乱とX線光電子分光やプローブ顕微鏡・電子顕微鏡などを組み合わせた構造分析例なども紹介したい。