[13p-D221-1~14] 6.4 Thin films and New materials

△ [13p-D221-13] Solid-phase epitaxy, structural and property characterization of titanium oxide thin films by uniaxial compressive annealing

〇Takahiro Ikuta¹, Yoshiki Horimatsu¹, Satoru Kaneko^2,1, Akifumi Matsuda¹, Mamoru Yoshimoto¹ (1.Tokyo Tech, 2.KISTEC)

Keywords:thin film, titanium oxide, epitaxial

還元型チタン酸化物は、高温･強還元条件下のPLDによるエピタキシャル成長、金属－絶縁体相転移が報告されている。しかし、TiO₂の高い熱力学的安定性から、マグネリ相の酸素欠損型組成制御が難しくエピタキシャル薄膜の研究はまだ少ない。本研究では、エピタキシャルTi_xO_y薄膜の結晶相制御とその物性探索を目的として、α-Al₂O₃(0001)基板上におけるTiO－TiO₂間組成のエピタキシャル薄膜合成とUCAが結晶構造と電気特性に及ぼす影響を検討した。