[13p-D221-1~14] 6.4 薄膜新材料

△ [13p-D221-13] Ti_xO_y薄膜の一軸加圧熱処理による固相エピタキシーと構造･物性評価

〇生田 貴大¹、堀松 芳樹¹、金子 智^2,1、松田 晃史¹、吉本 護¹ (1.東工大物質理工、2.神奈川県産技総研)

キーワード：薄膜、酸化チタン、エピタキシャル

還元型チタン酸化物は、高温･強還元条件下のPLDによるエピタキシャル成長、金属－絶縁体相転移が報告されている。しかし、TiO₂の高い熱力学的安定性から、マグネリ相の酸素欠損型組成制御が難しくエピタキシャル薄膜の研究はまだ少ない。本研究では、エピタキシャルTi_xO_y薄膜の結晶相制御とその物性探索を目的として、α-Al₂O₃(0001)基板上におけるTiO－TiO₂間組成のエピタキシャル薄膜合成とUCAが結晶構造と電気特性に及ぼす影響を検討した。