[13p-D221-1~14] 6.4 薄膜新材料

[13p-D221-7] [分科内招待講演] 遷移金属水素化物・窒化物の薄膜成長と物性評価

〇大友 明^1,2 (1.東工大物質理工、2.元素戦略)

キーワード：遷移金属水素化物、パルスレーザ堆積法、金属

我々は，これまでパルスレーザ堆積法（PLD）を用いて，IV族の水素化物（TiH₂，ZrH₂，HfH₂）やIV族窒化物（TiN，ZrN，HfN），Tiの酸窒化物や水窒化物，CrN，ScNの薄膜成長と物性評価に注力してきた．これらの遷移金属化合物のほとんどは金属的性質を示す．本発表では，PLDによる薄膜成長プロセスについて述べた後，いくつかの顕著な物性について紹介する．