[13p-D411-1~16] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [13p-D411-11] SrWO_3-xN_x 薄膜の作製とその電子輸送特性

〇丸山 敬裕¹、近松 彰¹、廣瀬 靖¹、片山 司¹、長谷川 哲也¹ (1.東大院理)

キーワード：酸窒化物、薄膜、電子輸送

遷移金属酸化物の酸素の一部を窒素に置換した酸窒化物は、多彩な電子輸送特性を示す。例えば、高い電子移動度を持つアモルファスZnO_xN_yや、巨大な負の磁気抵抗を示すEuNbO₂Nなどが報告されている。酸窒化物の多くは化学量論組成において半導体的な性質を示すものがほとんどであるが、金属伝導を示す数少ない例としてSrWO₂Nが報告されている。そこで本研究では、SrWO_3-xN_x 単結晶薄膜を作製し、その電子輸送特性について調べた。