[13p-PA8-1~20] 6.2 カーボン系薄膜

[13p-PA8-10] スパッタ法で作製したアモルファス炭素薄膜およびアモルファス窒化炭素薄膜の熱膨張係数評価

〇青野 祐美¹、宮﨑 尚²、春日 貴章³、能木 雅也³ (1.鹿児島大工、2.防衛大材料、3.大阪大産研)

キーワード：アモルファス炭素、窒化炭素、熱膨張係数