Theoretical study for the adsorption-desorption behavior at the step-edge of AlN(0001) surfaces during MOVPE growth

4:00 PM - 6:00 PM

[13p-PB1-25] Theoretical study for the adsorption-desorption behavior at the step-edge of AlN(0001) surfaces during MOVPE growth

〇(M2)Takumi Ohka¹, Toru Akiyama¹, Abdul-Muizz Pradipto¹, Kohji Nakamura¹, Tomonori Ito¹ (1.Mie Univ.)

Keywords:Step-flow growth, Ehrlich-Schwobel barrier (ESB), adsorption-desorption

本研究では、MOVPE成長条件を想定した場合でのAlN(0001)表面におけるAlおよびN原子の吸着・脱離およびマイグレーション挙動を明らかにし、ESBとステップフロー成長との関係性を検討する。