[14a-A201-1~8] Nano-cybernetics of interface bonded at room or low temperature and ultra thin films at heterojunction interface

[14a-A201-7] Bonding Mechanism of Solid-State Particles Under Plasma Assistance in Aerosol Deposition

〇KENTARO SHINODA¹, Jun Akedo¹ (1.AIST)

Keywords:ceramics, coatings, interfaces

常温衝撃固化現象を利用したエアロゾルデポジション（AD）法の適用領域拡大に向けて、プラズマ援用による堆積効率や三次元製膜性の向上が検討されている。本プラズマ援用による堆積メカニズムは、AD法ともプラズマ溶射法とも異なる第三の堆積形態であることが見いだされた。本講演では、AD法においてプラズマ援用をおこなった場合の固相粒子の結合メカニズムについて考察し、常温接合の可能性について検討する。