[14a-A205-1~10] 23.1 Joint Session N "Informatics"

△ [14a-A205-9] Development of multi-element XPS spectral analysis using basis function of multiple-peaks

〇(B)Ryo Murakami¹, Kazuki Nakamura¹, Hiromi Tanaka¹, Hiroshi Shinotsuka², Kenji Nagata², Hideki Yoshikawa² (1.KOSEN, Yonago, 2.NIMS)

Keywords:Automatic spectrum analysis, X-ray photoelectron spectroscopy (XPS)

本研究では，参照スペクトルを多重ピークから成る基底関数でモデル化し多相化合物のスペクトルと照合することで，化合物の成分比率を全自動で推定する手法を開発した．モデル化された参照スペクトルを利用することにより，装置によるエネルギー分解能の違いや試料の表面電荷に依存するピークシフト量の違いの補正を容易にし，他機関の装置で計測したデータや文献のデータを活用することが可能となった．