2020年第67回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[14a-A302-1~13] 15.4 III-V族窒化物結晶

2020年3月14日(土) 09:00 〜 12:30 A302 (6-302)

荒木 努(立命館大)、林 侑介(三重大)

12:15 〜 12:30

[14a-A302-13] 高温アニールによる窒化ホウ素(BN)薄膜の構造相転移

〇平間 一行1、谷保 芳孝1、熊倉 一英1 (1.NTT物性研)

キーワード：立方晶窒化ホウ素、六方晶窒化ホウ素、構造相転移