[14a-B408-1~10] 11.5 接合，回路作製プロセスおよびデジタル応用

△ [14a-B408-4] 中性粒子ビームによるニオブ加工特性

〇(B)紺野 太壱¹、大堀 大介¹、日高 睦夫³、遠藤 和彦³、向井 寛人⁴、蔡 兆申⁴、寒川 誠二^1,2,3 (1.東北大流体研、2.東北大AIMR、3.産総研、4.東理大)

キーワード：量子ビット、超伝導、ニオブ

量子ビットを構成する超伝導材料としてNbを用いた場合、Nb表面の酸化膜組成が量子ビット特性に影響を与える可能性がある。Nb酸化膜には絶縁体のNb₂O₅と金属的な性質を有するNbOやNbO₂などのサブオキサイドがあり、これらがジョセフソン接合のトンネルバリア界面に存在すると接合特性が大きく劣化することが知られている。そこで、本研究では中性粒子ビームを用いて、Nb表面に形成される酸化膜の構造制御を試みたので報告する。