[14a-D305-1~10] 7.5 イオンビーム一般

[14a-D305-7] 小型高エネルギーガスクラスターイオン源の開発とそのSIMS法への応用

〇(B)平田 健太郎¹、瀬木 利夫¹、青木 学聡¹、松尾 二郎¹ (1.京大工)

キーワード：ガスクラスターイオンビーム、二次イオン質量分析法

本研究では、クラスターイオンビームの照射エネルギーを大きくすることで高質量の分子の収率がどのように変化するのかを調べるため、新たに小型高エネルギークラスターイオン源（最大印加電圧50kV）を開発し、高エネルギーArガスクラスターイオンによるSIMS測定を行った。